各有关单位：

根据《团体标准管理规定》及《集成电路材料产业技术创新联盟标准制定程序》要求，经联盟标准委员会审议通过，现批准发布如下三项团体标准：

T/ICMtiaSM006-2021《集成电路线宽65nm-14nm逻辑工艺用300mm P/P-型硅外延片》

T/ICMtia PC007-2021《集成电路用氢氟酸》

T/ICMtia PC008-2021《集成电路用硝酸》

以上标准于2021年5月31日发布，并于2021年7月30日开始实施，特此公告。

                        中关村集成电路材料产业技术创新联盟

二零二一年五月二十日

团体标准发布公告.jpg