各有关单位：

根据《团体标准管理规定》及《集成电路材料产业技术创新联盟标准制定程序》的要求，经联盟标准委员会审议通过，现批准发布标准如下：

T/ICMTIA 4-2020《集成电路用ArF光刻胶单体第1部分：液体甲基丙烯酸酯类》

T/ICMTIA 5-2020《集成电路用ArF光刻胶单体第1部分：固体甲基丙烯酸酯类》

T/ICMTIA 6-2020《集成电路用ArF干式光刻胶》

T/ICMTIA 7-2020《集成电路用ArF浸没式光刻胶》

T/ICMTIA 8-2020《集成电路用ArF光刻胶的光刻检测方法》

以上标准于2020年12月31日发布，并于2021年3月1日开始实施，特此公告。

                集成电路材料产业技术创新联盟

                                二零二零年十二月十八日