各有关单位：

经集成电路材料产业技术创新联盟（简称：ICMTIA）标准委员会审查，现决定开展如下6项团体标准的制定工作：

2020-1 LX-ICMTIA 《集成电路用乙硅烷》

2020-2 LX-ICMTIA 《电子工业用气体氘气》

2020-3 LX-ICMTIA 《30%氧气/氦气混合气》

2020-4 LX-ICMTIA 《1.25%氪气/氖气混合气》

2020-5 LX-ICMTIA 《3.5%氩气/10ppm氙气/氖气混合气》

2020-6 LX-ICMTIA 《集成电路/半导体制造设备用先进陶瓷材料产品质量及检测标准》

项目归口管理单位为ICMTIA标准委员会，欢迎与本标准有关的科研机构、相关企业、使用单位等加入本标准的起草制定工作，有意参与者请与标委会办公室联系。

如有单位或个人对以上标准项目存在异议，请在公告之日起10个工作日内将意见反馈至标准委员会办公室。

联系人：刘 岩

电  话：010-82358415 

邮  箱：liuyan@icmtia.com

集成电路材料联盟团体标准立项公告2020.07.14.pdf