2019年12月26日，集成电路材料产业技术创新联盟（以下简称“联盟”）标准委员会在北京举行了团体标准技术审查会。

会议由标准委员会副主任丁成主持，审查组专家及部分相关单位的领导和工程技术人员出席了本次会议。会议审查了由联盟归口，由洛阳中硅高科技有限公司、江苏南大光电材料股份有限公司、江苏雅克科技股份有限公司、中巨芯科技有限公司起草的《集成电路用六氯乙硅烷》团体标准送审稿。审查组专家听取了标准起草单位的汇报后，审阅了相关资料，并对标准草案逐项逐条进行了严格细致审查和认真热烈的讨论，提出许多可行的修改意见。

整个审查过程严格遵循联盟标准委员会《标准制定程序》规定，最终审查组投票通过了《集成电路用六氯乙硅烷》标准送审稿的审定，并建议起草组按审查组的意见修改后形成标准报批稿。