各有关单位：

经集成电路材料产业技术创新联盟（简称：ICMTIA）标准委员会审查，现决定开展如下6项团体标准的制定工作：

2019-10LX-ICMTIA 《集成电路用固体ArF光刻胶单体》

2019-11LX-ICMTIA 《集成电路用液体ArF光刻胶单体》

2019-12LX-ICMTIA 《集成电路用ArF干式光刻胶》

2019-13LX-ICMTIA 《集成电路用ArF浸没式光刻胶》

2019-14LX-ICMTIA 《集成电路用光刻胶检测方法》

2019-15LX-ICMTIA 《集成电路用300mm硅外延片》

项目归口管理单位为ICMTIA标准委员会，欢迎与本标准有关的科研机构、相关企业、使用单位等加入本标准的起草制定工作，有意参与者请与标委会办公室联系。

如有单位或个人对以上标准项目存在异议，请在公告之日起10个工作日内将意见反馈至标准委员会办公室。

联系人：刘 岩

电  话：010-82358415

邮  箱：liuyan@icmtia.com

集成电路材料联盟团体标准立项公告2019.6.17.pdf