根据中国电子节能技术协会制修订项目计划，标准起草组已完成《半导体设备高分子材料零部件精密机械加工工艺技术规范》团体标准征求意见稿的编制工作。具体材料详见附件。

按照《中国电子节能技术协会团体标准管理办法》有关规定，现公开征求意见。请有关单位将《反馈意见表》以邮件形式2025年10月27日前反馈至联系人，涉及修改重要技术指标时，请附上必要的技术数据。逾期未复函，将按无异议处理。

联系人：王忠会   13718985727  010-57423205

电子邮件： zgdzjnjsxh1986@163.com

《半导体设备高分子材料零部件精密机械加工工艺技术规范》标准征求意见汇总处理表.doc

《半导体设备高分子材料零部件精密机械加工工艺技术规范》征求意见稿.pdf

《半导体设备高分子材料零部件精密机械加工工艺技术规范》编制说明.pdf

征求意见的通知.pdf